主要性能
大功率脈沖磁控濺射電源以快速開關(guān)控制正負(fù)電極放電，避免從傳統(tǒng)磁控濺射之異常輝光放電區(qū)進(jìn)入電弧放電區(qū)，電流密度可達(dá)1019 /m3 ，比傳統(tǒng)磁控濺射高三個量級，離化率更高達(dá)70%-100% ，可輕易沉積各種高級膜，
附著力強(qiáng)。幾乎不用改變原來磁控濺射鍍膜設(shè)備，可直接更換電源即可。
主要特點
DSP全數(shù)字控制，自動化程度高
具有過流、過壓、超溫保護(hù)
全逆變設(shè)計，大功率IGBT功率模塊為主要器件，脈沖輸出有較強(qiáng)的沖擊力，單脈沖功率可達(dá)MW級
主要參數(shù)
1、 輸入電壓：380V±5％，50HZ，三相交流
2、 輸出電壓：100V-4000V，脈沖電壓；
3、 輸出電流：100A-2000A，脈沖電流；
4、 輸出脈寬：5-2500us，可設(shè)定；
5、 頻率：30Hz-50kHz，可選擇范圍；
6、 輸出功率：10KW 20KW 30KW 40KW 50KW
行業(yè)專用電源
